SJ 20717-1998 氧化锌压电薄膜规范
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ID： |
85D2C06DE1504AF08CA1F370799C2186 |
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0.59 |
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9 |
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日期： |
2024-7-28 |
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SJ,中华人民共和国电子行业军用标准,FL5971 SJ 20717-1998,氧化锌压电薄膜规范,Specification for ZnO piezoelectric films,1998 - 03-18 发布1998-05-01 实施,中华人民共和国电子工业部批准,中华人民共和国电子行业军用标准,氧化锌压电薄膜规范,SJ 20717-1998,Specification for ZnO piezoelectric films,1范围,1.1 主题内容,本规范规定了氧化锌压电薄膜的要求、质量保证规定和交货准备等,1.2 适用范围,本规范适用于声体波微波延迟线及氧化锌(ZnO)、硅(Si)声表面波卷积器、存贮相关,器使用的氧化锌压电薄膜,1.3 分类,1.3.1 型号命名,氧化锌压电薄膜型号命名方法如下:,zo - n - n - n,'——用两位阿拉伯数字表示制作批号,--------------用两位阿拉伯数字表示制作年份,1--------------------用阿拉伯数字表示薄膜厚度,3n,用“Z0”表示氧化锌压电薄膜,2引用文件,GB 191 — 90,GB 11312 — 89,GB/T 12633 — 90,GB/T12634 - 90,SJ 20518 - 95,包装储运图示标志,压电陶瓷材料和压电晶体声表面波性能测试方法,压电晶体性能测试术语,压电晶体电弹常数测试方法,压电器件用五氧化二锂薄膜规范,中华人民共和国电子工业部1998 - 03-18发布1998 - 05 - 01 实施,—1 —,SJ 20717-1998,3要求,3.1 合格鉴定,按本规范提交的产品应是经鉴定合格或定型批准的产品,3.2 原材料,金属锌（Zn）纯度:/99.999%或ZnO粉末纯度:扌99.999%,氧气（&）纯度:ヨ99.2%,3.3 晶体点群氧化锌压电薄膜晶体点群应符合6mm点群,3.4 密度氧化锌压电薄膜的密度应符合5.7±0.3g/cm3,3.5 膜厚 氧化锌压电薄膜厚度范围应符合：0.15~21pmo,3.6 表面质量,氧化锌压电薄膜表面应光亮、透明、无划痕、无裂纹、无针孔等,3.7 膜的C轴取向度,3.7.1 激励声体波纵波模式、声表面波瑞利波及西沙瓦波模式C轴垂直取向度,分散度2a ＜6。;偏离度m＜l。（膜厚＜1网）,分散度シ＜4.5。;偏离度加＜0.5。（膜厚1~ 213n）,3.7.2 激励声体波剪切波模式C轴取向度,C轴偏离基片法向（C轴倾斜取向）：40±5%,3.8 膜的电声性能参数,膜的电、声性能参数应符合表1、表2和表3的规定,表1 ZnO膜声体波电声性能参数,名称参数符号数值参数符号数值,膜厚,pm,声体波相速度,m/8,纵,波,臨6100 ±100 耦,合,系,数,屈0.18-0.20 1-5,剪,切,波,% 2900150 aF3 3t 0.18-0.22 0.15-21,注:表1所列参数值对应的衬底为蓝宝石、钮钛石榴石（YAG）、熔融石英,—2 —,SJ 20717-1998,注:表2所列参数值对应的衬底为半导体单晶硅（Si）,表2 ZnO膜声表面波电声性能参数,名 称参数符号数值参数符号数值,膜厚,pm,声体波相速度,m/8,瑞,利,波,匕<3400,耦,合,系,数,髙￠0.01 1-4,西,沙,瓦,波,ね<6000 ￠0.03 4-21,表3 ZnO膜电性能参数,名 称参数符号数值,膜厚,ゆ,相e払。10.0-10.9,对,介,若/% 8.00-8.45,电,常,eii'/6o 8.00-8.5 0.15-21,数,￡11*/￡0 8.00-8.16,体电阻率,D'cm,Pv >10^,4质,保证规定,4.1 检验责任,除合同或订单中另有规定外,承制方应负责完成本规范规定的所有检验。必要时,订购,方或上级鉴定机构有权对本规范所述的任一检验项目进行检査,4.1.1 合格责任,所有产品必须符合本规范第3章和第5章的所有要求。本规范中规定的检验应成为承制,方整个检验体系或质量大纲的ー个组成部分。若合同中包括本规范未规定的检验要求，承制,方还应保证所提交验收的产品符合合同要求。质量一致性抽样不允许提交明知有缺陷的产,品,也不能要求订购方接收有缺陷的产品,4.2 检验分类,本规范规定的检验分为:,a.鉴定检验;,b.质量一致性检验,一 3 一,SJ 20717-1998,4.3 试验的标准大气条件,温 度:15 ~ 35七;,相对湿度:20%~80%;,压 カ：86-106kPao,4.4 鉴定检验,鉴定检验在产品正式投产前进行。当原材料或制造工艺发生重大变化有可能影响鉴定检,验结果时,也应进行鉴定检验。鉴定检验还适用于验证鉴定合格资格的保持,4.4.1 检验地点,鉴定检验应在有关主管部门认可的试验室进行,4.4.2 检验样品,鉴定检验的样品应为生产中通常使用的设备和工艺制造的产品,4.4.3 检验,鉴定检验的项目、检验顺序、受试样品数量及允许不合格品数应符合表4的规定,表4鉴定检验,检验项目,要求,章条号,试验方法,章条号,受试样,品数,允许不合格品数,点群3.3 4.7.2,密度3.4 4.7.3,膜厚3.5 4.7.4 10 0,表面质量3.6 4.7.5,C轴取向度3.7 4.7.6,电、声性能参数3.8 4.7.7,4.4.4不合格判定,若受试样品通过表4中列举的各项检査或试验,则鉴定检验合格；若其中有一项或ー项,以上检验或试验,超过表4规定的允许不合格品数,则不授予鉴定合格资格,4.4.5 鉴定合格资格的保持,为了保持合格资格,……
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